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MEMS材料与工艺手册 / 微纳系统系列译丛

￥198.00定价

作者： (美)利萨·格迪斯林斌彦

译者：黄庆安译；

出版时间：2014年3月

出版社：东南大学出版社

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基本信息评价

出版社：东南大学出版社
ISBN：9787564140533
图书编号：98757
出版时间：2014年3月
学科分类1：未分类
学科分类2：未分类
中图分类编号：TN4-62

内容简介

　　微机电系统(MEMS)技术是一个快速发展的前沿技术领域，使用的材料种类多、工艺方法复杂，需要系统地归纳、分析与整理，以便于读者查阅。《MEMS材料与工艺手册》由利萨·格迪斯著，内容包括MEMS材料，MEMS加工工艺和制造工艺，MEMS工艺集成方法以及工业届已经采用的工艺制造流程案例。本手册适合相关专业高年级本科生、研究生及工程科研技术人员阅读和参考。

1 MEMS设计流程
2 半导体和介质材料的添加工艺
3 金属材料的添加工艺
4 聚合物材料的添加工艺
5 压电材料的添加工艺：压电MEMS
6 形状记忆合金材料与工艺
7 微机械加工中的干法刻蚀
8 MEMS湿法腐蚀工艺和过程
9 MEMS光刻和微加工技术
10 MEMS中的掺杂工艺
11 圆片键合
12 MEMS封装材料
13 表面处理及平坦化
14 MEMS工艺集成