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光学薄膜厚度的光干涉测试方法

￥98.00定价

作者：苏俊宏

出版时间：2021-01

出版社：科学出版社

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基本信息评价

出版社：科学出版社
ISBN：9787030623027
版次：31
图书编号：474649
装帧：平装胶订
开本：B5
出版时间：2021-01
页数：176
中图分类编号：TH744.3

内容简介

光干涉测试技术是以波长为计量单位的现代光学测试技术的重要组成部分，具有测量结果准确、精度高、过程客观等优点。本书以光干涉测试技术为原理，以光学薄膜厚度参数为测量对象，介绍几种实现光学薄膜厚度测量的光干涉测试方法，包括干涉条纹法、快速傅里叶变换法、相位偏移干涉法、数字叠栅法，以及错位干涉法、外差干涉法和条纹扫描法。本书是作者研究工作的系统总结，具有理论与实践密切结合、论述系统深入、测试结果来源于工作实际的特点。