目 录 第1章 绪论 1 1.1 传感器的概念 1 1.1.1 传感器的基本组成 1 1.1.2 传感器的定义 2 1.2 传感器的分类 2 1.3 传感器的基本特性 3 1.3.1 传感器的静态特性 4 1.3.2 传感器的动态特性相关的数学 模型 11 1.3.3 传感器的动态特性描述 15 1.4 传感器的标定 20 1.4.1 传感器的静态特性标定 21 1.4.2 传感器的动态标定 21 1.5 传感器技术发展方向 23 习题 25 第2章 传感器的功能材料及加工工艺 27 2.1 传感器使用的材料 27 2.1.1 导体、半导体和电介质 28 2.1.2 有机高分子敏感材料 30 2.1.3 磁性材料 30 2.2 传感器的加工工艺 31 2.2.1 结构型传感器的加工工艺 31 2.2.2 微机械加工工艺 32 习题 40 第3章 温敏传感器 41 3.1 热学相关基本概念 41 3.1.1 温标 41 3.1.2 热力学相关概念 41 3.1.3 温敏传感器的分类 42 3.2 热电偶传感器 42 3.2.1 热电效应 42 3.2.2 热电偶基本定律 44 3.2.3 热电偶的结构 45 3.2.4 热电偶冷端温度误差及其补偿 46 3.2.5 热电偶实用测量电路 49 3.2.6 热电偶传感器应用实例 50 3.3 电阻型温度传感器 52 3.3.1 热电阻 52 3.3.2 热敏电阻 55 3.3.3 陶瓷半导体热敏电阻 57 3.3.4 半导体热电阻温度传感器 61 3.3.5 热敏电阻温度传感器的典型 应用 63 3.4 半导体PN结型温度传感器 64 3.4.1 温敏二极管 64 3.4.2 温敏晶闸管（可控硅） 66 3.4.3 温敏三极管 68 3.4.4 半导体PN结型温度传感器典型 应用 70 习题 71 第4章 力敏传感器 73 4.1 应变式电阻传感器 73 4.1.1 电阻应变片的种类 73 4.1.2 金属电阻应变片 73 4.1.3 半导体应变片 78 4.1.4 电阻应变片的测量电路 79 4.1.5 电阻应变式传感器应用 83 4.2 压电式力传感器 88 4.2.1 压电效应和压电材料 88 4.2.2 压电传感器的等效电路与测量 线路 91 4.2.3 压电式传感器的应用举例 95 4.2.4 压电式传感器的主要性能及其 影响因素 97 4.3 电容力传感器 99 4.3.1 电容式传感器特点 99 4.3.2 电容式压力传感器 100 4.4 电感式压力传感器 102 4.5 谐振式压力传感器 104 4.5.1 工作原理和特性 104 4.5.2 谐振式压力传感器的特性 104 4.5.3 谐振式压力传感器的类型 106 4.6 光纤力学传感器 108 4.7 其他新型传感器 110 习题 112 第5章 磁敏传感器 113 5.1 概述 113 5.2 霍尔元件 114 5.2.1 霍尔效应 115 5.2.2 影响霍尔效应的因素 116 5.2.3 霍尔元件基本结构 117 5.2.4 霍尔元件的基本特性 117 5.2.5 霍尔元件的电磁特性 118 5.2.6 霍尔元件不等位电势补偿 120 5.2.7 霍尔元件温度补偿 120 5.2.8 霍尔式传感器的应用 123 5.3 半导体磁阻器件 124 5.3.1 磁阻效应 124 5.3.2 磁阻元件 126 5.3.3 磁敏电阻的应用 127 5.4 结型磁敏器件 128 5.4.1 磁敏二极管 128 5.4.2 磁敏三极管 132 5.5 铁磁性金属薄膜磁阻元件 136 5.5.1 铁磁体中的磁阻效应 136 5.5.2 铁磁薄膜磁敏电阻的结构与 工作原理 136 5.5.3 铁磁薄膜磁敏电阻的技术性能 及特点 136 5.6 压磁式传感器 137 5.6.1 压磁式传感器的基本原理 137 5.6.2 压磁式传感器的主要特性 138 5.6.3 压磁式传感器的应用举例 139 5.7 新型磁敏传感器 139 5.7.1 MOS磁敏器件 139 5.7.2 高分辨率磁性旋转编码器 140 5.7.3 涡流传感器 141 5.7.4 韦根德磁敏器件 141 5.7.5 磁通门传感器 142 习题 143 第6章 光敏传感器 144 6.1 概述 144 6.1.1 光谱 144 6.1.2 光学传感器的相关计量单位 145 6.1.3 光源 146 6.2 光电效应传感器 148 6.2.1 外光电效应及器件 148 6.2.2 内光电效应（光电导）及器件 153 6.3 光生伏特效应器件 157 6.3.1 光生伏特效应 157 6.3.2 光电池 158 6.4 光敏二极管 159 6.4.1 结构原理 159 6.4.2 光电二极管应用实例 161 6.5 光敏晶体管 162 6.5.1 光敏晶体管和光敏二极管基本 特性 163 6.5.2 光敏三极管应用实例 164 6.6 色敏光电传感器 165 6.6.1 双结型色彩传感器 165 6.6.2 非晶态集成色彩传感器 165 6.6.3 应用实例 166 6.7 光电耦合器件 167 6.7.1 光电耦合器 167 6.7.2 光电开关 167 6.8 红外热释电光敏器件 168 6.8.1 红外热释电光敏效应 168 6.8.2 热释电传感器的结构 169 6.8.3 热释电红外传感器的应用 170 6.9 固态图像传感器 173 6.9.1 CCD图像传感器 173 6.9.2 MOS固态图像传感器 176 6.9.3 CCD与CMOS图像传感器的 性能比较 178 6.10 光纤传感器 179 6.10.1 概述 179 6.10.2 光纤的结构和传输原理 180 6.10.3 光纤传感器 181 习题 185 第7章 声敏传感器 186 7.1 声波的基本性质 186 7.1.1 声压及其描述 186 7.1.2 声功率和声强 187 7.1.3 声波的反射、折射、透射和 吸收 188 7.2 声敏传感器 190 7.2.1 电阻变换型声敏传感器 190 7.2.2 压电声敏传感器 191 7.2.3 电容式声敏传感器（静电型） 191 7.2.4 音响传感器 192 7.3 水声传感器 194 7.3.1 水声传感器的性能指标 194 7.3.2 水声传感器用郎之万型换能器 196 7.3.3 海底地貌仪 197 7.3.4 多普勒计程仪 198 7.3.5 相关计程仪 198 7.4 超声波传感器 199 7.4.1 超声波及其物理性质 19