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出版时间：2023-11

出版社：科学出版社

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基本信息 评价
  • 科学出版社
  • 9787030766335
  • 31
  • 498702
  • 平装胶订
  • 2023-11
内容简介
本书以作者在西北工业大学物理科学与技术学院的“薄膜物理学”课程讲义为蓝本，参考国内外薄膜物理学经典教材，主要论述薄膜物理与薄膜生长技术的基本内容，系统介绍薄膜的形成与生长、物理化学制备薄膜的原理与方法，包括真空蒸发镀膜、溅射镀膜、离子束镀膜、化学气相沉积、脉冲激光分子束外延法等，注重激发学生的学习兴趣，提升学生的学习能力。
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