第1章薄膜光学特性计算基础 11引言 12单一界面的反射率和透射率 13单层介质膜的反射率 131单层介质膜与基底组合的等效光学导纳 132单层介质膜的光学特性 14多层介质膜的反射率和透射率 15金属薄膜的光学特性 16光学零件的反射率和透射率 17光学薄膜的色度表征与计算 171光学薄膜的透、反射率光谱与颜色 172CIE1931标准色度系统简介 173薄膜颜色的色度学表征 思考题与习题 第2章介质膜系及其应用 21减反射膜 211单层减反射膜 212双层减反射膜 213多层减反射膜 214高折射率基底的减反射膜 215含吸收层的防眩光减反射膜 22高反射膜 221周期性多层膜堆的反射率 222（LH）S周期性多层膜堆的高反射带 223高反射带的展宽 224倾斜入射时的高反射带 225金属反射膜 23中性分束膜 231介质中性分光镜 232偏振中性分束棱镜 233金属中性分光镜 24截止滤光片 241多层膜堆的通带透射率 242通带波纹的压缩 243通带的展宽和压缩 244截止波长和截止带中心的透射率 245截止滤光片倾斜使用时的偏振效应 246截止滤光片的应用 25带通滤光片 251法布里-珀罗滤光片特性 252全介质法布里-珀罗滤光片 253诱导透射滤光片 254法布里-珀罗滤光片的最新应用 255宽带通滤光片 26偏振分束膜 261胶合棱镜介质偏振分光膜 262平板介质偏振分光镜 263金属栅偏振分光镜 27消偏振膜系 271单波长消偏振 272受抑全反射宽波段消偏振分光镜 273金属-介质组合膜堆宽波段消偏振 274消偏振截止滤光片 思考题与习题 第3章光学薄膜制造技术 31光学真空镀膜机 32真空与物理气相沉积 33真空获得与检测 331真空泵 332低温冷凝泵 333PVD使用的高真空系统 334真空度的检测 34热蒸发 35溅射 351辉光放电溅射 352磁控溅射 353离子束溅射 354离子、靶材与溅射率 36离子镀 37离子辅助镀 38等离子体增强化学气相沉积 381PECVD过程的动力学 382PECVD装置 思考题与习题 第4章光学薄膜制造工艺 41光学薄膜器件的质量要素 42影响膜层质量的工艺要素 421影响薄膜器件质量的工艺要素及作用机理 422提高膜层机械强度的工艺途径 423控制膜层折射率的主要工艺途径 424获得致密膜层的方法 43获得精确厚度的方法 431目视法 432极值法 433光电定值法 434任意膜厚的单波长监控 435石英晶振法 436宽光谱膜厚监控 44获得均匀膜层的方法 441影响膜层厚度均匀性的因素 442获得均匀膜层厚度的途径 思考题与习题 第5章薄膜材料及其性质 51薄膜的微观结构与性质 511薄膜结构的材料学基础 512薄膜的光学性质 513薄膜的力学性质 52常用光学薄膜材料 521金属薄膜 522介质薄膜 523特殊材料 思考题与习题 第6章光学薄膜特性测试与分析 61光学薄膜特性的检测标准 611国标（JB/T 6179—92）中规定的光学零件镀膜的分类、符号及标注 612国标（JB/T 8226—1999）中规定的光学零件镀膜检测项目 613国标（JB/T 8226—1999）中规定的光学零件镀膜试验方法 614国标（JB/T 8226—1999）中规定的光学零件镀膜检验规则 62薄膜透射率、反射率的测量 621光谱仪的基本原理 622薄膜透射率的测量 623薄膜反射率的测量 63薄膜光学常数和厚度的测量 631光度法确定薄膜的光学常数 632椭圆偏振法确定薄膜的光学常数 633薄膜厚度的测量 64薄膜吸收和散射的测量 641薄膜吸收损耗的测量 642薄膜散射损耗的测量 65薄膜激光损伤阈值的测量 651薄膜激光损伤的机理分析 652薄膜激光损伤阈值的测量标准及方法 653薄膜抗激光损伤阈值测量中应注意的几个问题 66薄膜非光学特性的检测 661薄膜附着力的测量 662薄膜应力的测量 663薄膜的环境试验 664薄膜结构和化学成分检测 思考题与习题 第7章功能薄膜及其应用 71透明导电薄膜 711透明导电薄膜的分类 712透明导电薄膜的基本特性 713透明导电氧化物薄膜的制备 714透明导电氧化物薄膜的特性测试 715透明导电氧化物薄膜的应用 72太阳能薄膜 721太阳能光热转换薄膜 722太阳能光电转换薄膜 73超硬薄膜材料 731金刚石薄膜 732类金刚石（DLC）薄膜 733立方氮化硼薄膜 734CNx薄膜 735其他硬质薄膜 74相位膜 741屋脊棱镜的偏振像差 742矫正偏振像差的相位膜 743屋脊棱镜偏振像差的表征与检测 思考题与习题 附录A常见薄膜材料参数 参考文献