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微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用（第二版） / 中国科学院大学研究生教材系列

￥128.00定价

作者：顾长志等

出版时间：2023-06

出版社：科学出版社

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基本信息评价

出版社：科学出版社
ISBN：9787030692542
版次：31
图书编号：374033
装帧：平装胶订
开本：B5
出版时间：2023-06
页数：420
中图分类编号：TB

内容简介

本书简述微纳加工的主要方法及在纳米材料与器件研究中的应用，注重理论与实践的结合，包括光学曝光、电子束曝光、聚焦离子束加工、激光加工、纳米压印、刻蚀技术、薄膜技术、自组装加工，以及微纳加工在纳米材料与器件的电学、光学、磁学等研究领域的应用，重点介绍各种微纳加工方法的产生根源与**发展的趋势，在科学研究中的创新性应用与要注意的问题，以及在多学科领域中对探索科学发现的重要作用。