微机电系统(MEMS)技术是一个快速发展的前沿技术领域,使用的材料种类多、工艺方法复杂,需要系统地归纳、分析与整理,以便于读者查阅。《MEMS材料与工艺手册》由利萨·格迪斯著,内容包括MEMS材料,MEMS加工工艺和制造工艺,MEMS工艺集成方法以及工业届已经采用的工艺制造流程案例。本手册适合相关专业高年级本科生、研究生及工程科研技术人员阅读和参考。
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微纳系统系列译丛 : MEMS材料与工艺手册
(美)利萨·格迪斯 林斌彦 著;
黄庆安 译;
2014年3月
东南大学出版社
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